Rasterelektonenmikroskope können ein Bild der Oberfläche des Objektes erzeugen, weil
die Ausbeute an Sekundärelektronen (SE) davon abhängt, wie stark die abgebildete
Fläche relativ zum einfallenden Primärelektronenstrahl (PE) geneigt ist. Dadurch
entsteht ein Topographiekontrast: Mit zunehmender Flächenneigung nimmt die Ausbeute an
Sekundärelektronen und damit die Helligkeit der Abbildung zu. Dieser Effekt beruht vor allem
daauf, daß an stark geneigten Flächen mehr Rückstreuelektronen entstehen, die ihrerseits
eine verstärkte Abstrahlung von Sekundärelektronen verursachen.
Dieser Topographiekontrast ist hier anhandt der REM-Aufnahme eines Kristalls veranschaulicht. Die
dem PE-Strahl zugewandte Fläche erscheint dunkel, weil nur wenig SE erzeugt werden und zum Detektor
gelangen (rechts oben). Die drei etwas abgeschrägten Kristallflächen erzeugen mehr SE
und erscheinen deshalb etwas heller (rechts mitte). Am hellsten werden die Flächen abgebildet,
die fast parallel zum PE-Strahl ausgerichtet sind (rechts unten).
